北京大学申请抗单粒子专利,结构FinFET器件有更好的抗单粒子瞬态能力

金融界2023年12月12日消息,据国家知识产权局公告,北京大学申请一项名为“一种抗单粒子加固的鳍式场效应晶体管“,公开号CN117219667A,申请日期为2022年6月。

专利摘要显示,本发明公开了一种抗单粒子加固的鳍式场效应晶体管,该器件在FinFET的沟道和漏区下方插入局部介质层,可以阻止单粒子入射后在衬底产生的电荷被漏区收集,从而减小单粒子瞬态电流。相比于传统体硅FinFET器件,该结构FinFET器件有更好的抗单粒子瞬态能力。

本文源自金融界


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